Là một phương pháp tiệt trùng dựa trên quá trình khuếch tán khí Ethylene Oxide (EO hoặc ETO). Khí EO phản ứng và phá hủy DNA của vi sinh vật, tiêu diệt tất cả các vi sinh vật như vi khuẩn (bao gồm cả bào tử), vi rút và nấm (nấm men, nấm mốc). Nó có khả năng xuyên qua tất cả các vật liệu xốp, một số vật liệu và màng nhựa đồng thời tương thích với hầu hết mọi vật liệu ngay cả khi được sử dụng nhiều lần. Chính vì vậy có khả năng khử trùng và làm cho sản phẩm không có vi sinh vật sống sót.
Tất cả các sản phẩm phải được đặt trong bao bì thoáng khí, cho phép khí thẩm thấu và tiếp xúc toàn bộ bề mặt thiết bị hoặc sản phẩm. Hiệu quả khử trùng của EO phụ thuộc vào khả năng khuếch tán tự do qua sản phẩm và bao bì.
Quá trình này cũng đòi hỏi sự kiểm soát đồng thời của bốn biến thông số phụ thuộc lẫn nhau: nồng độ khí, nhiệt độ, độ ẩm tương đối và thời gian tiếp xúc. Xử lý ethylene oxide thường được thực hiện trong khoảng 30 đến 60 ° C (86 và 140 ° F) với độ ẩm tương đối trên 30% và nồng độ khí từ 200 đến 800 mg / l. Thời gian phơi nhiễm đảm bảo tiệt trùng triệt để từ 2 đến 8 giờ. Thời gian đuổi khí trung hòa EO khoảng 4 – 8 giờ tùy thuộc kích thước buồng đuổi khí.
Ethylene Oxide là khí dễ cháy, độc hại và gây ung thư do đó lượng chất tiệt trùng EO được sử dụng trong quá trình tiệt trùng cần được kiểm soát chặt chẽ để đạt được mức đảm bảo vô trùng theo quy định.